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附件类型
附件大小 4871KB
上传时间 2019/3/5 16:08:46
来源 压电与声光,2017,39(4);565-568
语种
上传用户 赵斌,唐立丹
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文摘/正文

  【摘要】采用磁控溅射法在单晶硅和石英玻璃衬底上制备梯度铝掺杂的氧化锌(AZO)薄膜。利用X线衍射(XRD)、霍尔效应测试和紫外可见光分度计等研究了不同氩氧比(体积比)对梯度AZO薄膜结构和光电性能的影响。结果表明,氩氧比可以改善薄膜的结晶质量,且对电学性能的影响较大。

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